种类 |
LED式反射型 |
型号 |
M-DW1 |
中心测量距离 |
45mm |
检测物体 |
3英寸以上的半导体晶圆(注2) |
可对应检测面 |
有受光方向反射面的端面形状的检测面(注3) |
检测角度 |
12.5±5°(注4) |
晶圆间距 |
间距3mm以上时,可按通常灵敏度进行分离检测(注5) |
适用晶圆盒 |
SEMI规格FOUP晶圆盒/开放式晶圆盒 |
电源电压 |
12〜24V DC±10% 脉动P-P10%以下 |
消耗电流 |
65mA以下 |
输出 |
NPN输出/PNP输出 可由切换开关选择
<NPN输出>
NPN开路集电极晶体管
・最大流入电流:100mA
・外加电压:30V DC以下(输出和0V之间)
・剩余电压:1V以下(流入电流为100mA时)
0.4V以下(流入电流为16mA时)
<PNP输出>
PNP开路集电极晶体管
・最大源电流:100mA
・外加电压:30V DC以下(输出和+V之间)
・剩余电压:1V以下(源电流为100mA时)
0.4V以下(源电流为16mA时) |
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输出动作 |
可用切换开关选择入光时ON/非入光时ON |
短路保护 |
装备(自动复位) |
反应时间 |
500μs以下 |
工作状态指示灯 |
橙色LED(输出ON时亮起) |
稳定指示灯 |
绿色LED(稳定入光时、稳定非入光时亮起点灯) |
定时器功能 |
装备约2ms固定断开延迟定时器 有效/无效切换式 |
投光停止输入 |
信号条件
・投光停止:断开或4〜8V
・投光:0〜3V或9V〜+V(26.4V MAX.) |
灵敏度切换输入 |
信号条件
・输入OFF:断开或4〜8V
・输入ON :0〜3V或9V〜+V(26.4V MAX.) |
灵敏度设定 |
背面教导:按本体灵敏度设定按钮运行
检测灵敏度切换:本体开关2bit、4级或外部输入的2级选择式 |
环
境
性
能 |
保护构造 |
IP20(IEC) |
使用环境温度 |
0〜+55℃(注意不可结露)、存储时:−10〜+70℃ |
使用环境湿度 |
35〜85%RH、存储时: 35〜85%RH |
使用环境照明度 |
白炽灯:受光面照明度3,000lx以下、荧光灯:受光面照明度1,500lx以下 |
耐电压 |
AC1,000V 1分钟 所有电源连接端子与外壳之间 |
绝缘电阻 |
所有电源连接端子与外壳之间,20MΩ以上,基于DC250V的高阻表 |
耐振动 |
频率10〜500Hz 双振幅3mm X,Y和Z方向各2小时 |
耐冲击 |
耐久98m/s2(约10G) XYZ方向各5回 |
投光元件 |
LED(调制式) |
材质 |
外壳:ABS及SUS301、透镜: 丙烯 |
电缆 |
0.15mm2 5芯橡皮电缆,长300mm |
电缆延长 |
0.15mm2 以上的电缆全长可延长至10m |
重量 |
本体重量:约75g |